神奈川県|MDCOMのエキシマランプユニット

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MDCOMのエキシマランプユニット


真空対応エキシマランプユニット
 当社(MD・COM)で、今回開発した真空対応エキシマランプユニットを図1、2に示す。
真空チャンバ上部に光源であるエキシマランプを2本搭載している。
ランプは2重管構造になっており、内管にアノード電極を挿入し対向電極は外管の上半部に配置している。(図・3)照射面側(エキシマ光取出し部)には電極を持たない、いわゆる無電極照射ランプユニット構造である。(弊社特許)
外管を図・3のように真空シールすることにより、アノード電極は大気中、対向電極(カソード)は真空中となる構成にしています。本構成により真空で安定なエキシマ発光が得られる。